K-465MOCVD过滤器 E475滤芯
2024-10-10
产品详情
- 价格：115
- 产品名称K-465MOCVD过滤器 E475滤芯
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- 简介
产品特性
（一）整体特性
一些厂家生产的用于Veeco K465i（与K - 465MOCVD设备相关）的滤芯具有过滤精度高、起始压差小、流通能力大、纳污容量大以及使用寿命长的特点。并且可根据客户要求设计、订做（调整尺寸、使用材料、整体构造等）来满足各种过滤要求，达到标准的过滤效果2。
（二）过滤相关特性
滤材方面
很多这类滤芯的滤料采用玻纤滤料，长期使用温度可达250度以上，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。例如某产品系针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒，其滤材就是玻纤滤料236。
过滤工艺方面
采用两级过滤工艺的滤芯，可以分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。如粗滤精度可达100μm = 90%，细滤精度可达25μm = 99.95%36。
有波纹工艺的滤芯，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长236。
其他组件方面
支撑材料有的采用双面304#不锈钢金属网，骨架采用304#不锈钢菱形网，密封垫圈采用硅发泡橡胶垫片，密封胶采用硅橡胶等。例如某产品的组成材料包含这些组件，并且在端盖等方面也有特定的规格，如端盖为φ360、304#不锈钢等3。
三、可替代产品相关
有一些厂家可生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K - 465，K465i，E - 300机型的滤芯，这些替代滤芯在性能上也能满足类似的过滤需求，在尺寸、材料、构造等方面可根据客户要求定制，从而达到与K - 465MOCVD过滤器E475滤芯相似的过滤功能
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